マイクロ・ナノ領域での微細加工を基礎に，新材料と
その開発手法，応用としてのMEMS，マイクロマシン，医療デバイスの研究

診断や治療に伴う患者の身体的負担を可能な限り少なくし，治療期間の短縮・患者の早期回復を目指した医療技術に，カテーテル手術があります．カテーテル手術には，医師の高度な手技が必要ですが，人体で練習はできず，動物による練習も倫理的な問題があります．本研究グループでは，カテーテルが血管を模した壁面に与える応

再生可能エネルギーとして太陽電池は，工業用や家庭用での身近な発電デバイスとして期待されています．太陽電池に入射する太陽光を効率的に利用するための光マネジメント技術は非常に重要な技術です．本研究では，ナノインプリントによってガラス表面に作製した凹凸形状のテクスチャ基板を，非常に材料・製造コストが安い色

記録媒体や各種センサなどに多用されている磁性材料の結晶粒の大きさ（結晶粒径）は，磁性材料の磁性特性や機械特性に大きな影響を与えます．本研究では強磁性材料に交流磁場を与えると発生する磁気バルクハウゼンノイズを機械学習により解析することで，磁性材料の結晶粒径を非接触，非破壊，迅速に推定できる手法を研究し

５G，６Gの超高速通信に使用される各種フィルター素子には，異なる特性を持つ基板を常温で接合する表面活性化接合が使用されています．この表面活性接合には，超精密に平坦化された基板表面を清浄化し活性化するために，高速のAr原子を照射する高速電子ビームが不可欠です．本研究では従来の高速電子ビーム（FAB：F

ドラッグデリバリー用流体デバイスの高機能化，高性能化には，流体の流れを制御するマイクロバルブの設置が不可欠です．本研究では，生体内応用に適した遠隔駆動マイクロバルブとして，磁性ナノ粒子を含有した熱応答性ゲルからなる，交流磁場応答熱駆動マイクロバルブの開発を目指しています．このバルブは，磁性ナノ粒子の

薄膜金属ガラスは，ガラス転移温度以上，結晶化開始温度以下の過冷却液体域と呼ばれる温度領域で軟化し，自重やバイメタル効果，ガス圧などでプラスチックのように変形します．この特性を利用して成膜時の内部応力を緩和しMEMS構造で利用される真直な片持はり構造や，軟化を利用した変形や，弾性変形の応力緩和による曲

2009年モデル直径1.7mmの二つの円筒形圧電素子をパイプ（薄膜振動体）で接続する形態を採用し，より高出力化に成功しました．（秦）2008年モデル直径1.7mmの円筒形圧電素子表面に薄膜振動体を形成し，圧電素子と振動体の適切なモードを一致させることで，進行波を励起してスライダの駆動

コンビナトリアル成膜法で一つの基板上に集積製作された多数個のサンプルを超効率的に評価するハイスループット評価法を研究しています．結晶化開始温度のハイスループット評価法サーモグラフィにより，薄膜アモルファス合金の結晶化に伴う放射率変化を検出することで，結晶化開始温度のハイスループット評価を実現