2009年モデル
直径1.7mmの二つの円筒形圧電素子をパイプ(薄膜振動体)で接続する形態を採用し,より高出力化に成功しました.(秦)
2008年モデル
直径1.7mmの円筒形圧電素子表面に薄膜振動体を形成し,圧電素子と振動体の適切なモードを一致させることで,進行波を励起してスライダの駆動に成功しました.(秦)
![円筒形超音波マイクロアクチュエータ2008年モデル](http://mnm.mae.nagoya-u.ac.jp/wp-content/uploads/2021/09/CULMA08.jpg)
直径1.7mmの二つの円筒形圧電素子をパイプ(薄膜振動体)で接続する形態を採用し,より高出力化に成功しました.(秦)
直径1.7mmの円筒形圧電素子表面に薄膜振動体を形成し,圧電素子と振動体の適切なモードを一致させることで,進行波を励起してスライダの駆動に成功しました.(秦)