マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ

名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻
マイクロ・ナノシステム講座に所属する本研究グループでは、
マイクロ・ナノ領域での微細加工、材料評価、材料創成と
アプリケーションまで広範なテーマについて研究しています。

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お知らせ

新HPを公開しました.レスポンシブル対応,自動翻訳で英語,中国語に対応です.お気づきの点があればhata.lab[at]mail.mnm.mae.nagoya-u.ac.jpまでお願いします([at]を@にして送信願います).公式Twitterからの質問箱でもOKです.

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研究グループのご紹介

本研究グループの運営方針,行事,構成メンバー,本研究グループでの教育研究を希望する学生諸君へのメッセージ,アクセスについてご紹介します.

RESEARCH

先進技術を基盤から支える微細加工技術と材料技術とその応用

本研究室では,マイクロ・ナノ領域での微細加工を,その基本となる新材料開発と,その応用としてのMEMS,マイクロマシン,医療デバイスについて広範なテーマについて研究しています.その技術は各種センサ,機能性材料,製造技術などとしてロボット,航空宇宙産業,自動運転,医療技術,通信技術など最新の産業に使用されています.

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みんな頑張ってます!

教職員,在学生,卒業生をご紹介します.

RESEARCH研究内容

本研究室では,マイクロ・ナノ領域での微細加工を,その基本となる新材料開発と,その応用について広範なテーマについて研究しています.その技術は各種センサ,機能性材料,製造技術などとしてロボット,航空宇宙産業,自動運転など最新の産業に使用されています.

バイオ・医用デバイス

カテーテル手術シミュレータ

診断や治療に伴う患者の身体的負担を可能な限り少なくし,治療期間の短縮・患者の早期回復を目指した医療技術に,カテーテル手術があります.カテーテル手術には,医師の高度な手技が必要ですが,人体で練習はできず,動物による練習も倫理的な問題があります.本研究グループでは,カテーテルが血管を模した壁面に与える応

新しい微細加工法,新材料を用いたMEMS,マイクロマシン

ナノインプリントによる太陽電池用光マネジメント基板

再生可能エネルギーとして太陽電池は,工業用や家庭用での身近な発電デバイスとして期待されています.太陽電池に入射する太陽光を効率的に利用するための光マネジメント技術は非常に重要な技術です.本研究では,ナノインプリントによってガラス表面に作製した凹凸形状のテクスチャ基板を,非常に材料・製造コストが安い色

新材料のコンビナトリアル探索と評価技術

機械学習による磁性材料の結晶粒径推定

記録媒体や各種センサなどに多用されている磁性材料の結晶粒の大きさ(結晶粒径)は,磁性材料の磁性特性や機械特性に大きな影響を与えます.本研究では強磁性材料に交流磁場を与えると発生する磁気バルクハウゼンノイズを機械学習により解析することで,磁性材料の結晶粒径を非接触,非破壊,迅速に推定できる手法を研究し

新原理・新発想微細加工技術

新形高速原子ビーム源

5G,6Gの超高速通信に使用される各種フィルター素子には,異なる特性を持つ基板を常温で接合する表面活性化接合が使用されています.この表面活性接合には,超精密に平坦化された基板表面を清浄化し活性化するために,高速のAr原子を照射する高速電子ビームが不可欠です.本研究では従来の高速電子ビーム(FAB:F

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