学会発表

応用物理学会 第 14 回「集積化 MEMS シンポジウム」(アスティとくしま)にて発表

https://sensorsymposium.org/2022/

2022年11月14日(月)

14:40~15:40 14P3-C センサ・アクチュエータ・材料

講演番号 14P3-C-3
MEMS デバイスを利用した Ni 基薄膜金属ガラスの内部応力測定
*高瀬 駿, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一
名古屋大学

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