記録媒体や各種センサなどに多用されている磁性材料の結晶粒の大きさ（結晶粒径）は，磁性材料の磁性特性や機械特性に大きな影響を与えます．本研究で

コンビナトリアル成膜法で一つの基板上に集積製作された多数個のサンプルを超効率的に評価するハイスループット評価法を研究しています．結晶化開

新材料を開発する時，多くは組成や製作条件を変えたサンプルを一つ一つ作り，評価して目的の材料を探索します．コンビナトリアル成膜法は，組成の異な