新しい微細加工法,新材料を用いたMEMS,マイクロマシン

円筒形超音波マイクロアクチュエータ

2009年モデル

直径1.7mmの二つの円筒形圧電素子をパイプ(薄膜振動体)で接続する形態を採用し,より高出力化に成功しました.(秦)

2008年モデル

直径1.7mmの円筒形圧電素子表面に薄膜振動体を形成し,圧電素子と振動体の適切なモードを一致させることで,進行波を励起してスライダの駆動に成功しました.(秦)

円筒形超音波マイクロアクチュエータ2008年モデル
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