博士後期（博士）修了生
Jiang Shengxian
博士論文「Combinatorial Approach of Ni-based Amorphous Alloys for Glass Lens Molding Die Materials」（東京工業大学）
博士前期（修士）修了生
金 必永
修士論文「樹脂製ダイアフラムを用いたフレキシブルMEMSセンサに関する研究」
小野良太
修士論文「肺機能計測を目的とした気道内固定機構付き流量センサの開発」
柴田峻志
修士論文「銅張積層板を用いた熱検知式MEMSセンサの高速応答化と医療応用」
山田貴之
修士論文「救急救命における呼吸・心拍のデュアルモニタリングを目指したMEMS流量センサに関する研究」
学部卒業生
鈴木 慧
卒業論文「水素発生触媒用コンビナトリアル評価基板の作製」
西田 敏
卒業論文「静電容量型圧力センサの超小型化に関する基礎検討」
田村健紀
卒業論文「フェムト秒レーザを用いたニッケル酸化物の還元微細パターニング」
白石尚也
卒業論文「光てこ法による磁歪バイレイヤ構造体のたわみ評価方法の研究」