経歴
2002年
筑波大学大学院工学研究科博士課程物質工学専攻 修了（宮崎研究室）
同年
東京工業大学精密工学研究所 助教（下河辺・進士研究室）
2011年
東京エレクトロン株式会社 ＰＶＥ本部ＰＶＥ開発部 入社
2014年
名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 准教授
現在に至る
研究歴
1996年-2002年
TiNi薄膜形状記憶合金の物性研究
2002年-現在
薄膜金属ガラスの物性研究
2002年-現在
薄膜金属ガラスを用いた3次元MEMSの研究
2004年-現在
薄膜非晶質金属材料のコンビナトリアル法の研究
2008年-2011年
NdFeB薄膜永久磁石を用いたMEMSの研究
2009年-現在
機能性薄膜金属材料のコンビナトリアル探索とその応用研究
2011年-2014年
薄膜Si太陽電池用ガラステクスチャ形状の研究と大型基板用ナノインプリント装置開発
受賞歴
2019年
日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 2019 年 優秀講演論文賞
2017年
第10回SMAシンポジウム2017 ＡＳＭＥ賞
2015年
第83回レーザ加工学会講演会 優秀ボスター賞
2014年
日本機械学会 第92期機械材料・材料加工部門 優秀講演論文賞
2012年
日本機械学会 第89期機械材料・材料加工部門 優秀講演論文賞
2008年
3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2008 Excellent Poster Presentation of the Conference (2nd Place)
2007年
MRS Fall meeting 2007 Outstanding Poster Award
学会等役職
2021年
電気学会Ｅ部門 センサシンポジウム分野３ 主査
2020年
日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第６技術委員会（将来計画担当）委員長
日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 総務委員
同 運営委員
電気学会Ｅ部門 フィジカルセンサWG 主査
2019年
日本機械学会 機械材料・材料加工部門 第６技術委員会（将来計画担当）委員
日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 運営委員
精密工学会 校閲委員（〜現在）
電気学会Ｅ部門 フィジカルセンサWG 委員
2018年
日本機械学会 機械材料・材料加工部門 広報委員会 委員長
同 第7技術委員会（英文ジャーナル担当） 委員
2017年
精密工学会 会誌編集委員（〜2020年）
2016年
電気学会 Ｅ部門 論文委員会 幹事（〜現在）
同 センサシンポジウム分野３ 論文幹事（〜現在）
お役に立てそうなこと
薄膜金属材料のコンビナトリアル探索
ナノインプリントによる微細構造製作