Yano E plus 2022年8月号(No.173)（矢野経済研究所発行），p.80-85に当研究室の微細加工技術，コンビナトリアル技術が紹介されました．
当研究室OGの長岡技術科学大学，溝尻先生の研究室も紹介されています．
以下，目次より
≪注目市場フォーカス≫
MEMS技術シリーズ(3)～微細加工技術～ （56～90ページ）
～半導体製造プロセスを基盤にしながらも、LIGAプロセスや
ナノインプリントや様々な加工技術が進展、微細で複雑な加工が可能～
1．MEMS/微細加工技術とは
2．MEMS/微細加工技術の種類
2-1．薄膜形成
2-2．リソグラフィー
2-3．エッチング
2-4．接合・接着
2-5．3次元（3D）加工
2-6．組立技術
3．MEMS/微細加工技術に関する市場規模推移と予測
【図・表1．MEMS/製造の国内およびWW市場規模推移と予測（金額：2020-2025年予測）】
【図・表2．MEMS/製造の微細加工技術別WW市場規模推移と予測
（金額：2020-2025年予測）】
4．MEMS/微細加工技術に関連する企業・研究機関の取組動向
～中略～
4-4．国立大学法人 長岡技術科学大学
(1)フェムト秒レーザーを用いた3D金属微細造形の特長
【図19．熱加工における連続波発振・ナノ秒レーザー(左)とフェムト秒レーザー(右)の違い】
【図20．フェムト秒レーザーを用いた還元描画プロセス】
(2)Cu-rich/Cu2O-rich選択描画
【図21．レーザー描画速度によるCuOナノ粒子の還元度評価】
(3)磁性材料への応用
【図22．Ni/Cr2O3コンポジット材料の作成例】
(4)3D流量センサーの積層造形
【図23．3D流量センサーの造形プロセス】
4-5．国立大学法人 東海国立大学機構 名古屋大学
(1)コンビナトリアル技術による新材料創成
①コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法
【図24．アークプラズマ蒸着法の模式図(左)と装置外観(右)】
【図25．アークプラズマ蒸着法を用いた組成探索・最適化
アモルファス組成探索例(左)、耐熱組成探索例：723K-50h(中)、723K-100h(右)】
②コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ（Combi-NFTS）法
【図26．Combi-NFTSによる三元系材料の組成傾斜膜形成
Combi-NFTS 装置の模式図(左)、出力変化による組成変化(右)】
③各種ハイスループット評価技術
【図27．サーモグラフィーによる結晶化開始温度測定法の模式図(左)と
ハイスループット評価結果(右)】
(2)新しいマイクロ・ナノ加工技術
①薄膜金属ガラスの微細成形技術
【図28．焼きなまし法による平面構造。焼きなまし有(上)、焼きなまし無(下)】
【図29．変形加熱法による立体構造】
②逆リフトオフ法による厚膜構造体加工技術
【図30．逆リフトオフ法を用いたコイルパターンの形成】
【図31．逆リフトオフ法を用いた厚膜金属ガラスMEMSミラー構造
SEM像(左)、デバイス外観(右)】