応用物理学会 第 14 回「集積化 MEMS シンポジウム」（アスティとくしま）にて発表

https://sensorsymposium.org/2022/

2022年11月14日（月）

14:40～15:40　14P3-C センサ・アクチュエータ・材料

講演番号 14P3-C-3
MEMS デバイスを利用した Ni 基薄膜金属ガラスの内部応力測定
*高瀬 駿, 岡 智絵美, 櫻井 淳平, 秦 誠一
名古屋大学