第13回集積化MEMS技術研究ワークショップにて発表

https://annex.jsap.or.jp/MEMS/index.html

2022年8月3日（水）13:05～15:00　ショート講演とポスターセッション

• • 「MEMSへの応用を目指した薄膜内部応力測定方法」
    〇高瀬 駿、岡 智絵美、櫻井 淳平、秦 誠一
  • 「反力可変触覚ディスプレイ用アクチュエータの駆動特性」
    〇村瀬 正憲、南原 圭汰、岡 智絵美、秦 誠一、櫻井 淳平
  • 「熱処理による構造緩和を利用した薄膜金属ガラス製静電容量形圧力センサの評価」
    〇大塚 穂高、二関 隆史、岡 智絵美、秦 誠一、櫻井 淳平
  • 「磁性ナノ粒子の磁気発熱で駆動する無配線マイクロバルブ」
    ○谷平 光一、三輪 大貴、櫻井 淳平、秦 誠一、岡 智絵美