日本機械学会2022年度年次大会（富山大学）にて発表

https://confit.atlas.jp/guide/event/jsme2022/top

2022年9月13日（火）10:00～11:30　ポスターセッション

[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

• • • [J221p-08] HFSMAナノ繊毛構造体作製に及ぼす粘弾性特性の影響
      〇佐藤 寛太1、山崎 貴大1、岡 智絵美1、秦 誠一1、櫻井 淳平1 (1.名古屋大学)
    • [J221p-03] MEMS応用に向けたNi-Nb-Zr薄膜非晶質合金製ダイアフラムの内部応力制御
      〇謝 靖蘭1、羽賀 冬樹1、山崎 貴大1、岡 智絵美1、秦 誠一1、櫻井 淳平1 (1.名古屋大学)

2022年9月14日（水）10:15 〜 11:15 Room 19（D21）

[J163] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用 Ⅱ

• • • [J163-06] 平行平板形高速原子ビーム源の試作
      〇加藤 泰成1、森崎 諒1、山崎 貴大1、岡 智絵美1、櫻井 淳平1、秦 誠一1 (1.名古屋大学)